硅壓阻式壓力傳感器的溫度補償.pdf

1、非電量檢測中，壓力的檢測量最大，所以壓力傳感器的也是使用最為廣泛、技術更新最快的傳感器。特別是硅橋式壓阻壓力傳感器以其線性好、靈敏度高、體積小、便于集成等諸多優(yōu)點，是目前使用最廣泛的一種壓力傳感器。但是由于半導體材料的溫度特性，硅壓阻式壓力傳感器的輸出信號會隨著溫度的改變而受到影響，產生溫度漂移，溫度漂移的現(xiàn)象一直制約著硅壓阻式壓力傳感器的發(fā)展。
　　隨著國民經濟的發(fā)展，很多領域要求傳感器在各種極端環(huán)境下仍然能夠保持高度的精確度和

2、穩(wěn)定性。為了提高傳感器的應用范圍和測試精確度，國內外學者專心研究，提出了很多具有創(chuàng)新性的溫度補償方法，文章對目前比較流行的溫度補償方法做了分析比較，并且結合自己研制開發(fā)的硬件采集電路對三次樣條曲線插值的溫度補償方法做了驗證和改進，提出了基于三次樣條插值的新的溫度補償方法，且實驗結果良好。
　　文章以硅橋式壓阻壓力傳感器為研究對象,在分析壓阻式壓力傳感器理論及原理的基礎上,對傳感器的關鍵性參數進行了理論計算和探索性的研究。具體內容包

3、括器件結構設計、信號采集電路設計、單片機補償系統(tǒng)軟件設計以及溫漂實驗在內的壓力傳感器一體化設計研究。論文主要研究工作如下：
　?。?）介紹硅壓阻式壓力傳感器的工作原理，討論了溫度漂移產生的原因。
　?。?）借助ANSYS有限元仿真軟件對傳感器彈性薄膜做了應力的仿真,對薄膜尺寸及壓敏電阻做了理論分析，提出一種優(yōu)化傳感器感壓膜片設計的方案。
　?。?）根據總體設計要求研制一種高精度數據采集電路，介紹電路各個模塊功能，并對該