表面等離激元紅外天線耦合納測(cè)輻射熱探測(cè)器研究.pdf

1、表面等離激元(Surface Plasmons, SP)以其高強(qiáng)度局域場(chǎng)和表面受限性的特點(diǎn)備受關(guān)注。基于SP原理制備的器件可以在亞波長(zhǎng)區(qū)域或納米區(qū)域進(jìn)行光場(chǎng)能量的調(diào)節(jié)，該特性為構(gòu)建新型光電器件提供了思路，SP光學(xué)天線就是其中研究熱點(diǎn)之一?；旌舷嘌趸C(VOX)薄膜是構(gòu)成微測(cè)輻射熱紅外探測(cè)器的主要熱敏材料之一，將SPP光學(xué)天線與VOX納米線耦合構(gòu)成新型納測(cè)輻射熱計(jì)以發(fā)展一種新型高性能紅外探測(cè)器是本文的主要研究?jī)?nèi)容。
　　本文主要對(duì)光

2、學(xué)天線和VOX納米線在8~12?m長(zhǎng)波紅外波段內(nèi)的光學(xué)特性，耦合SPP天線的VOX納米線進(jìn)行光學(xué)性能和熱學(xué)性能進(jìn)行仿真分析，并且設(shè)計(jì)制備了原型器件，為進(jìn)一步優(yōu)化器件結(jié)構(gòu)和工藝改進(jìn)提供了理論和實(shí)驗(yàn)支持。
　　主要內(nèi)容包括：
　?。?）利用多物理場(chǎng)有限元仿真軟件COMSOL Multiphysics對(duì)光學(xué)天線的局域場(chǎng)增強(qiáng)性能進(jìn)行仿真研究。在仿真中分別對(duì)光學(xué)天線的幾何參數(shù)（臂長(zhǎng)、厚度和寬度）、周圍介質(zhì)環(huán)境、襯底層等對(duì)天線場(chǎng)增強(qiáng)特性