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文檔簡介
1、該文分析了低氣壓射頻感應(yīng)放電的基本過程,采用流體方程描述帶電粒子的平衡和電子能量平衡,通過放電中電子吸收功率密度將電磁場波動方程和流體方程耦合起來,數(shù)值計算不時合方程組可以得到電場分布和等離子體參數(shù).采用傳統(tǒng)的描述射頻感應(yīng)放電的變壓器模型,從實驗測量的線圈電流得到放電功率,從而給出電磁場的邊界條件.在射頻工作條件下經(jīng)典的電導率方程往往不能正確地描述實際情況,所以求解電磁場波動方程時使用的電導率將通過動力學公式推導出來.計算和實驗中采用氬
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