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文檔簡介
1、光堿產生劑(PBGs)可以在光照條件下釋放有機堿催化劑,產生的有機堿可以催化聚合物的一系列反應,在微電子成像和光刻膠領域有極大的應用價值。本文研制了新型雙環(huán)胍類光堿產生劑和催化劑,并研究了其在光引發(fā)催化聚合物交聯(lián)反應和改性方面的應用。
本文選擇雙環(huán)胍類強堿:1,5,7-三氮雜雙環(huán)[4.4.0]癸-5烯(TBD)作為有機堿催化劑,烴基作為發(fā)色團,提出一條簡單、可行的PBGs合成路線。選擇三種不同發(fā)色團:烷烴基、苯基和不飽和烴
2、基,可以更加全面的代表TBD衍生物的性質和應用。生成的三種TBD化合物,收率高,純度好。本文測試了產品的一系列性能:包括核磁、紅外光譜、溶解性、熱穩(wěn)定性、紫外吸收及溶液濃度、陽離子和不同極性溶劑對紫外吸收的影響,還檢測了產品的熒光量子產率,提出了產品的光引發(fā)機理。
經過測試,可以證明,本文合成的三類新型PBGs的各類性能都符合工業(yè)實際應用的需要:收率高;純度好;溶解性好;熱穩(wěn)定性大大高于目前常用光引發(fā)催化劑;紫外吸收范圍符
3、合微電子產業(yè)的要求,特別適用于光刻膠工業(yè)領域;量子產率平均值0.5,大大高于工業(yè)要求的0.1,也高于現(xiàn)有PBGs量子產率平均值,說明光解效率好;產品光引發(fā)條件適宜,在曝光10min內,三種化合物都可以產生強堿催化劑TBD,從而應用于微電子和涂層領域。
在光照條件下,強堿TBD可以從TBD衍生物中釋放出來,有效催化聚合物酯交換反應。本文獨創(chuàng)性地提出了一種光交聯(lián)水溶性聚合物的研究,并且分別合成了三類以去離子水作為顯影液的環(huán)境友
4、好型三組分光刻膠:合成的三類新型PBGs,乙烯基吡咯烷酮(VP)、甲氨基乙基甲基丙烯酸酯(DMAEMA)的聚合物[poly(VP-co-DMAEMA)]和2-羥乙基纖維素(HEC)。本文用核磁共振,紫外可見光譜,差示掃描量熱儀和熱重分析等測試方法研究了PBGs,聚合物組分,曝光時間,后烘(PEB)溫度,PEB時間和清洗時間對光刻膠光交聯(lián),圖案化的影響,闡述了光交聯(lián)機理。由于TBD衍生物催化活性高、制備簡單、溶解性好,所以將其作為光堿引發(fā)
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