超親水驅油的二氧化鈦薄膜的制備及性能研究.pdf

1、本文采用磁控濺射系統在單晶硅上獲得了表面光滑顆粒均勻的二氧化鈦薄膜，此外利用等離子體表面處理系統，通過改進工藝方法，優(yōu)化工藝條件，對二氧化鈦薄膜表面化學組成進行調控，獲得了浸潤性能從親水到超親水范圍變化的表面。系統地研究了工藝參數對二氧化鈦薄膜的表面結構以及浸潤性能的影響。 主要的研究工作進展如下： 1．通過調控濺射工藝成功制備表面形貌雖然比較單一的二氧化鈦薄膜，其表面特征為光滑平坦，晶粒的直徑比較小，基本分布在20納米

2、到50納米之間，每項參數的經過比對經過分析比較后確定出最佳值； 2．對二氧化鈦薄膜的表面進行表面修飾，發(fā)現經過修飾的表面更加親水，同時對油變得疏些。雖然變化不是很大，但是表明了一個很好的方向，即使不考慮改變表面形貌，只通過表面修飾就可以實現二氧化鈦薄膜表面更加的親水； 3．再經過退火處理后，薄膜實現了超親水，同時疏油的趨勢進一步明顯，親水的程度超過了親油，說明薄膜表層結構的變化和表面基團的修飾能夠實現超親水化，薄膜表面的