激光測振新方法的研究.pdf

1、隨著精密機械加工與檢測、醫(yī)學診斷等方面的需求與發(fā)展,人們迫切需要在微米甚至納米量級對微小振動進行精確定位、加工、操作、檢測和監(jiān)控,同時對測量技術的要求也日益提高,要求測量向著實時、非接觸、高靈敏度、智能化的方向發(fā)展,以獲得測量對象面內的或離面的微小位移量大小。本文基于邁克爾遜干涉儀和激光多普勒技術構建了光學干涉測量系統,利用偏振分束器、波片等光學器件獲得四路正交且強度相等的干涉信號合成李薩如圖形,由李薩如圖形的圓心角來測量微振動位移的大

2、小。
　　第一章闡述了激光干涉測量原理及幾種激光測振方案,介紹了四種經典的干涉儀,同時就本論文主要內容作了概述,介紹了它的特色與優(yōu)勢。
　　第二章詳細闡述了實現信號正交的兩種方法:相位載波零差解調法和雙光路平衡探測法,并利用李薩如圖形驗證了信號的正交特性。
　　第三章詳細介紹了二分之一波片和四分之一波片的作用,分析了影響波片相位延遲量的各種因素,為實驗光路的整體設計提供了依據。
　　第四章詳細介紹了噪聲處理的方法

3、。在對噪聲來源進行分析的基礎上,構建了邁克爾遜干涉儀,以實驗室自制的單頻窄線寬全保偏光纖激光器作為光源,降低了光源的相位噪聲;通過芯片、電阻和電容等電子元器件的仔細選擇,降低了解調電路的整體噪聲;通過互阻抗電路,對光電接收系統進行了降噪處理;并且采用了光源光電負反饋和四路平衡檢測的雙重降噪方法,降低了光源的強度噪聲和實驗裝置的本底噪聲,提高了實驗結果的信噪比。
　　第五章在上述原理的基礎上,提出了激光測振的新方法——李薩如圖形實現