PET基ITO-LaB6-ITO透明導(dǎo)電薄膜電極的制備及光電性能的研究.pdf

1、LaB6納米材料在紫外和近紅外波段具有特定的選擇性吸收作用，在光學(xué)和隔熱材料領(lǐng)域具有巨大的應(yīng)用前景，這一特殊性能使其成為時(shí)下研究的熱點(diǎn)。ITO是目前已知的性能最好的隔熱透明材料，在太陽(yáng)能電池和柔性透明導(dǎo)電薄膜領(lǐng)域，具有極其廣泛的應(yīng)用。本文結(jié)合兩者優(yōu)勢(shì)，通過(guò)磁控濺射法制備了LaB6與ITO復(fù)合薄膜，對(duì)LaB6在柔性透明導(dǎo)電薄膜領(lǐng)域的應(yīng)用進(jìn)行了初步探索。研究了等離子體預(yù)處理對(duì)基底的影響，探索了薄膜的最佳制備時(shí)間，并對(duì)其組織結(jié)構(gòu)、光學(xué)性能以及

2、電學(xué)性能的相關(guān)性進(jìn)行了深入分析。
　　等離子體預(yù)處理結(jié)果表明，PET為最佳的柔性透明基底，當(dāng)放電電壓為70V，放電電流為0.15A，束流電壓為0.9KV，束流電流為12mA，加速電壓為120V時(shí)，隨著預(yù)處理時(shí)間的延長(zhǎng)，光學(xué)性能、潤(rùn)濕性、表面粗糙度以及表面高度等性能均為先減小后增大，當(dāng)預(yù)處理時(shí)間為60s時(shí)，PET基底具有最高的透光率以及最小的表面粗糙度和最優(yōu)的表面潤(rùn)濕性。
　　通過(guò)FESEM、AFM等設(shè)備，研究了薄膜的生長(zhǎng)機(jī)制

3、，結(jié)果發(fā)現(xiàn)不同薄膜之間的結(jié)合比較緊密，其結(jié)合強(qiáng)度要遠(yuǎn)大于薄膜與基底之間的結(jié)合強(qiáng)度。隨著薄膜層數(shù)的增加，表面粗糙度會(huì)相應(yīng)增加，但變化幅度較小，而表面高度則有明顯增加。當(dāng)ITO/LaB6/ITO薄膜的濺射時(shí)間分別為6min、8min和6min時(shí)，薄膜具有最優(yōu)的微觀組織性能。
　　薄膜的光學(xué)性能結(jié)果表明，當(dāng)薄膜層數(shù)相同時(shí)，隨著各層薄膜厚度增加，薄膜透過(guò)率降低;當(dāng)薄膜整體厚度相同時(shí)，隨著薄膜層數(shù)的增加，薄膜透過(guò)率增加。電學(xué)性能表明，隨著薄