柔性金屬微納結構轉印機理及方法研究.pdf

1、基于金屬微納結構的新功能材料可以廣泛應用于平板顯示、新能源、傳感器等新興產業(yè)領域。傳統(tǒng)金屬微納結構制造需要高溫加熱、化學刻蝕、物理刻蝕等工藝流程，這些流程較難在柔性基底上實現(xiàn)，因而轉印技術成為柔性金屬微納器件制備的首選技術。
　　現(xiàn)有的轉印方法主要工藝流程為：首先，采用電子束刻蝕、激光直寫或自組裝等技術獲得微結構母模板，采用塑性材料復制母模板形成微納結構的軟模板，該模板稱為轉印載體；其次，在轉印載體表面蒸鍍或沉積金屬層，在一定條件

2、下，如溫度、壓力、光照等，將附有金屬層的轉印載體與受體基底壓合；最后，將轉印載體與受體基底分離，即可將轉印載體表面凸起部分的金屬層轉移到受體基材表面。
　　帶有巰基末端的有機物可以與金屬之間形成較強的化學鍵合力，利用這種鍵合力可以實現(xiàn)金屬表面結構的轉移?；谶@種基本理論，本文提出了基于巰基表面修飾的金屬納米轉印方案：使用浸泡法在柔性基材表面自組裝一層帶巰基末端的分子層作為轉印受體，使用表面鍍有功能金屬層的微納結構作為轉印受體，施以

3、特定轉印條件后，轉印載體表面凸起部分的金屬層可以成功的轉印至轉印受體表面。該方案操作簡單，轉印效率高，可為工業(yè)化生產提供一定參考。
　　厭氧紫外膠是一種紫外和厭氧雙重固化型膠粘劑，具有普通紫外膠和厭氧膠所不具備的優(yōu)良特性。受厭氧紫外膠的優(yōu)良性能的啟發(fā)，本文提出了基于厭氧紫外膠的金屬微納結構轉印方案，通過控制厭氧紫外膠的涂布厚度，在轉印過程中構筑厭氧富氧條件，以達到選擇性轉印的目的，并探究出基于厭氧紫外膠的増嵌式及奪取式兩種轉印方案