納米SiC薄膜發(fā)光特性及其等離激元增強.pdf

1、本工作采用螺旋波等離子體增強化學(xué)氣相沉積技術(shù)，在單晶Si及石英襯底上制備了納米SiC薄膜。通過原子力顯微鏡、X射線衍射譜、傅立葉變換紅外吸收光譜、紫外-可見透射光譜、光致發(fā)光譜等技術(shù)手段，對所制備薄膜的成分、微觀結(jié)構(gòu)、光學(xué)帶隙及發(fā)光等特性進行了表征和分析，研究了襯底溫度對薄膜的微結(jié)構(gòu)，尤其是對發(fā)光特性的影響。微結(jié)構(gòu)特征分析結(jié)果表明，薄膜整體呈現(xiàn)為典型的非晶基質(zhì)中鑲嵌納米晶態(tài)SiC的結(jié)構(gòu)。襯底溫度升高，納米SiC粒子的尺寸逐漸變小，粗糙度

2、逐漸變大，薄膜中晶態(tài)SiC的比例增加。光吸收和發(fā)光特性分析顯示，薄膜的光學(xué)帶隙和結(jié)構(gòu)有序度提高，光致發(fā)光峰位隨襯底溫度升高呈現(xiàn)藍移趨勢，表現(xiàn)為較強的量子限制效應(yīng)發(fā)光。
　　 依據(jù)金屬顆粒表面等離激元共振理論，采用磁控濺射技術(shù)在康寧玻璃襯底上制備了不同厚度的納米銀樣品。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，隨著銀膜有效厚度的增加，納米銀粒子尺寸增大，表面等離激元共振吸收峰位紅移，實現(xiàn)了在可見-近紅外波長范圍的變化。
　　 采用螺旋波等離子體增強化學(xué)氣