可變矩形電子束曝光機圖形數(shù)據(jù)轉換軟件的實用化研制.pdf

1、該論文介紹了文中所實現(xiàn)的微機版可變矩形電子束曝光機圖形數(shù)據(jù)轉換軟件的相關系統(tǒng)設計、流程設計、算法設計等.該軟件將通用圖形數(shù)據(jù)格式CIF轉換成JBX-6AII曝光機專用格式JEOL51.經試驗驗證,初步達到實用化水準.該軟件分為兩層,核心層和交互層.其中核心層封裝了所有相關算法,采用純C/C++實現(xiàn),具有良好的可移植性.交互層基于MFC實現(xiàn).核心層中轉換過程劃分為源文件解析模塊、轉換模塊和目標文件輸出模塊,其中轉換模塊又按照流程分為窗口裁

2、剪、二維變換、尺寸修正、主場分割、子場分割、輪廓化、黑白翻轉、自分割、束斑分割、校驗等環(huán)節(jié).論文著重介紹了這些環(huán)節(jié)的算法實現(xiàn).該文采用遞歸下降法解析CIF語法,并總結出一套較為通用的版圖描述語言解析規(guī)則,該規(guī)則可以推廣到對其它形式語言的解析過程中去.該文提出了新的處理有向環(huán)運算過程中重復交點的策略,該策略能夠全面適應文中有向多邊形的集合運算.該文提出“線切割”的概念,并且成功以此為基礎設計了系列相關算法.該概念在該文中占有很重要的地位.