掃描電子束曝光機背散射電子檢測與對準技術的研究.pdf

1、本文通過對掃描電子束曝光機標記信號檢測及對準技術的分析，提出了背散射檢測電路的設計方案和電路原理圖，給出了實驗結果；總結了電子束掃描場畸變的種類，給出了線性畸變的自動校正軟件的設計方案和流程圖；介紹了非線性畸變校正的方法。 由于背散射電子信號的圖像既可以顯示樣品的形貌也可以顯示樣品的成分所以選擇背散射電子信號進行標記位置檢測。檢測器采用的是雙半圓環(huán)形的半導體檢測器。背散射檢測電路是由檢測器、模擬信號處理電路、A/D轉換器、數字信

2、號處理、計算機和控制單元組成的。為了提高電路的抗干擾能力，從電路原理圖設計到PCB板制作都采取了一些抑制噪聲的措施，本文對此做了詳細介紹。 總結了掃描場畸變的種類，以制作好的檢測電路和現(xiàn)有的圖形發(fā)生器為硬件基礎，設計了掃描場線性畸變的自動校正軟件。該軟件是在WindowsXP操作系統(tǒng)中用C語言實現(xiàn)的。在程序中采用了許多技術手段，包括降噪處理、二值化、數字增強技術等。 掃描場的非線性畸變種類較多，情況復雜，相應的校正方法也