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1、在超精密加工、超精密測(cè)量/測(cè)試以及航空航天設(shè)備領(lǐng)域,對(duì)外界環(huán)境振動(dòng)和設(shè)備自身振動(dòng)的抑制、隔離是重要的研究課題之一,其常用的手段有被動(dòng)、半主動(dòng)和主動(dòng)隔振。超磁致伸縮材料具有能量密度高、伸縮系數(shù)大(10-3量級(jí))、響應(yīng)時(shí)間極短、輸出應(yīng)力大、驅(qū)動(dòng)電壓低等特點(diǎn),由這種材料驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行器可以應(yīng)用在主動(dòng)隔/減振系統(tǒng)中。本論文的主要目的是在課題原有的超磁致伸縮微定位系統(tǒng)的基礎(chǔ)之上,改進(jìn)執(zhí)行器的機(jī)械結(jié)構(gòu)和驅(qū)動(dòng)方式,改善控制系統(tǒng),提高系統(tǒng)的動(dòng)態(tài)輸出性能。<
2、br> 論文的主要內(nèi)容包含以下三個(gè)部分:一、分析課題原有超磁致伸縮執(zhí)行器(GMA)的不足,優(yōu)化其驅(qū)動(dòng)磁場(chǎng)結(jié)構(gòu)和機(jī)械結(jié)構(gòu),設(shè)計(jì)由兩個(gè)經(jīng)典結(jié)構(gòu)執(zhí)行器組合而成的差動(dòng)型GMA;二、分析單個(gè)執(zhí)行器的動(dòng)力學(xué)模型,并在此基礎(chǔ)之上推導(dǎo)出差動(dòng)型GMA的動(dòng)力學(xué)模型,仿真分析負(fù)載等效剛度、負(fù)載質(zhì)量對(duì)該執(zhí)行器輸出特性的影響,討論組成差動(dòng)結(jié)構(gòu)的兩個(gè)子執(zhí)行器參數(shù)不對(duì)稱(chēng)對(duì)整體輸出的影響,提出改善措施;三、引入動(dòng)態(tài)Preisach模型,完成位移反饋PID控制和位移前
3、饋-PID閉環(huán)復(fù)合控制仿真,搭建基于差動(dòng)型 GMA、電容位移傳感器、功率放大器、PC機(jī)和PXI-8102采集板卡的控制系統(tǒng),完成對(duì)差動(dòng)型GMA的位移前饋-PID閉環(huán)復(fù)合控制,測(cè)試系統(tǒng)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)輸出性能。
實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,超磁致伸縮微定位系統(tǒng)在18.5μm的行程范圍內(nèi)具有6nm的分辨力,單位階躍響應(yīng)時(shí)間達(dá)到5ms,在復(fù)合控制系統(tǒng)下可以實(shí)現(xiàn)200Hz內(nèi)幅值為3μm的無(wú)滯后正弦位移輸出,輸出最大誤差為0.6μm,最大負(fù)載質(zhì)量為725g
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