鐵芯式直線電機(jī)定位力擾動的模型辨識與補(bǔ)償方法.pdf

1、隨著電子信息時代的高速發(fā)展，以集成電路為代表的超精密加工技術(shù)水平已滲透到科技民生的各個領(lǐng)域。直線電機(jī)作為高精度伺服系統(tǒng)的主要驅(qū)動元件之一，對集成電路芯片的高精度制造設(shè)備有著關(guān)鍵的作用，在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究中占據(jù)了極其重要的地位。然而，受磁鋼邊緣效應(yīng)的影響，直線電機(jī)在運(yùn)動過程中不可避免的定位力擾動限制了其在高精度領(lǐng)域的應(yīng)用。為了提高直線電機(jī)的控制精度，必須對定位力擾動進(jìn)行補(bǔ)償。
　　在闡述了研制掃描光刻設(shè)備的背景及其重要意義，進(jìn)而說

2、明了定位力擾動補(bǔ)償控制的重要意義之后，本文給出了先進(jìn)行模型辨識再設(shè)計(jì)相應(yīng)的補(bǔ)償控制器進(jìn)行的總體方案。為此，本文首先從直線電機(jī)的定位力產(chǎn)生原理進(jìn)行了分析，并設(shè)計(jì)了模型辨識的方案，利用最小二乘法獲取了基于位置的直線電機(jī)定位力擾動模型。隨后根據(jù)系統(tǒng)的特性，采用了改進(jìn)型內(nèi)?？刂坪偷鷮W(xué)習(xí)控制，分別于系統(tǒng)的位置控制環(huán)和電流控制環(huán)設(shè)計(jì)了包含PID結(jié)構(gòu)的補(bǔ)償控制器。通過與傳統(tǒng)控制方式的比較，仿真結(jié)果證實(shí)了上述方法的有效性。
　　其次，考慮到系統(tǒng)